場發射掃描式電子顯微鏡


 

FE-SEM 場發射掃描式電子顯微鏡

機型:Hitachi-4700,EDS機型:HORIBA

Ⅰ. 0.5~30KV

Ⅱ. 電子光源:冷場發射電子槍

Ⅲ. 放大倍率:X 10 ~ X 500k

Ⅳ. 高解像能觀察: Resolution :1.5nm

Ⅴ. EDS分析:92≧原子序≧ 5

Ⅵ. 自動功能:對焦、像差修正、明亮、對比。

主要附件:Ⅰ. EDX(化學元素定性、定量和分佈影像分析)。 

 

樣品準備需知:

1. 樣品面積:試片高度不得高於0.8cm,試片大小需小於直徑3.2cm

2. 為避免對超高真空造成污染,檢驗的樣品不得為高揮發性、污染性、磁性粉體等物質,且不得含有水份。

3. 使用者第一次觀察必須與儀器操作技術員討論樣品處理事宜。

 

收費標準:

1. 3000元/3hr

2. 鍍金/碳 400元/次〈若需鍍碳請於預約時提出要求〉

註:上述費用均可開立收據

 

聯絡人:

儀器管理教授:王惠森 副教授

TEL:07-6577711轉3111   Fax: 07-6578444

E-MAIL: huei@mail.isu.edu.tw   

儀器管理員:張馨文 技術員

TEL:07-6577711轉3986   Fax: 07-6578444 

E-MAIL: ISUMALab@isu.edu.tw

儀器室地點:義守大學教學大樓一樓2101精密分析實驗室